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涡轮分子泵怎么选_按抽速、前级压力和气体对照型号
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涡轮分子泵按三样选:进气口的 N₂ 抽速(决定法兰口径)、要抽的气体(氢、氦等轻气体抽速和压缩比都低一截)、前级泵能不能把出口压到它允许的最高前级压力以下。分子泵不能从大气压起抽,一定要配前级泵;前级泵抽到所需前级真空后,分子泵才升到额定转速。腐蚀性气体要选带镀层和密封气的型号,粉尘多会磨损转子叶片。
常见工况怎么配
| 工况 | 怎么配 | 依据 |
|---|---|---|
| 大腔体、一般高真空 | 分子泵 + 旋片泵前级 | 普发知识库 4.9.2 |
| 质谱、分析仪器、研发,要全干 | 带 Holweck 级的分子泵 + 双级隔膜泵(省钱但抽大腔体慢) | 普发知识库 4.9.2 |
| 前级要更大抽速、要无油 | 多级罗茨干泵做前级 | 普发知识库 4.9.2 |
| 腐蚀性气体 | 接触面带镀层的型号,电机轴承区通惰性密封气 | 普发知识库 4.9.2 |
| 工艺有粉尘、沉积 | 粉尘会磨损叶片,保养周期缩短;选可现场换轴承、耐工艺粉尘的镀膜型 | HiPace 800 P 单页 |
品牌型号按 N₂ 抽速对照
| N₂ 抽速 | 型号 | 原厂 / 产品页参数 |
|---|---|---|
| 67 L/s | 普发 HiPace 80 Neo | H₂ 48 L/s,最高前级 22 hPa,DN 40 / 63(原厂单页) |
| 80 L/s | 太星 TXFB-80C | 一体式,极限 2×10⁻⁶ Pa(本站产品页) |
| 260 L/s | 普发 HiPace 300 | H₂ 220 L/s,最高前级 20 hPa,DN 100(原厂单页) |
| 300 L/s | 太星 TXFB-300Y / 安捷伦 TwisTorr 305 FS | TXFB-300Y 极限 3×10⁻⁷ Pa;TwisTorr 305 FS 为 300 L/s 级(均为本站产品页) |
| 550 L/s | 普发 ATH 500 M(磁悬浮) | 最高前级 2.6 mbar,推荐前级 ACP40(原厂单页) |
| 600 L/s | KYKY FF-160/620F / 太星 TXFB 油润滑系列 | FF-160/620F 极限 ≤6×10⁻⁶ Pa;TXFB 系列 600–1600 L/s(本站产品页) |
| 685 L/s | 普发 HiPace 700 | H₂ 555 L/s,最高前级 11 hPa,DN 160(原厂单页) |
| 785 L/s | 普发 HiPace 800 P | 镀膜用,最高前级 1.1 hPa,DN 200(原厂单页) |
| 1250 / 1400 L/s | 普发 HiPace 1200 / 1500 | 最高前级 2 hPa,DN 200 / 250(原厂单页) |
注意最高前级压力差别很大:HiPace 300 允许 20 hPa,HiPace 1200 只允许 2 hPa,HiPace 800 P 只有 1.1 hPa——大泵往往要配抽得更深的前级泵。
我们拆过的分子泵上看到的
普发 HiCube 80 Eco 分子泵组送来多是真空差、有噪音,拆检都查到散热风扇损坏,风扇一停泵体就严重发烫(普发分子泵维修);莱宝 TURBOVAC TW70H 内部导流壳、定叶轮都有污染,轴承损坏(莱宝维修)。所以选型时把散热条件和工艺洁净度一起说清;安捷伦机型见安捷伦维修。
买之前先说清这几件事
1. 腔体容积、要到的压力、主要抽什么气体(N₂、H₂、He、Ar,有无腐蚀和粉尘);
2. 高真空法兰规格(DN 63 / 100 / 160 / 200,ISO-K 或 CF)和安装方向;
3. 前级泵型号和抽速,还是一起配;要不要全干;
4. 控制器 / 驱动、电源电压、通讯接口(RS-485 等);
5. 风冷还是水冷;
6. 换旧泵发铭牌照片,以后轴承、油芯谁来换。
联系厦门太星机电
厦门太星机电有限公司,2009 年成立,集美有自己的维修车间:买泵、配件、以后修泵是同一家。进口品牌和太星自有型号都可以询价,先发工况和旧泵铭牌照片,对上型号再报价。
电话:15880223078(微信同号)
地址:厦门市集美区东安村前占里19号之二
选型参考：罗茨泵和罗茨机组怎么选 · 氦质谱检漏仪怎么选
