普发 HiPace 1200/1500 涡轮分子泵参数与选型

HiPace 1200 和 HiPace 1500 是普发真空(Pfeiffer Vacuum)的涡轮分子泵,两款主要差在高真空法兰和抽速:1200 用 DN 200 法兰,氮气抽速 1250 l/s;1500 用 DN 250 法兰,氮气抽速 1400 l/s。两款前级最高允许 2 hPa(N₂),启动时间 2.5 min,采用混合轴承技术,普发说明其镍涂层表面可用于腐蚀性应用。

普发 HiPace 1200/1500 涡轮分子泵参数与选型

普发 HiPace 1200/1500 涡轮分子泵参数与选型

官方参数(普发产品单页)

HiPace 1200HiPace 1500
抽速 N₂ / Ar1250 / 1200 l/s1400 / 1350 l/s
抽速 He / H₂1300 / 1100 l/s1350 / 1150 l/s
压缩比 N₂、Ar / He / H₂1×10⁸ / 6×10⁴ / 6×10³同左
全速时气体通量 N₂ / Ar20 / 11 hPa·l/s同左
全速时气体通量 He、H₂30 hPa·l/s同左
最高前级压力(N₂)2 hPa2 hPa
启动时间2.5 min2.5 min
声压级(EN ISO 2151)50 dB(A)50 dB(A)
重量(约)30.5 kg31.2 kg
通讯接口RS-485、remoteRS-485、remote
进气 / 排气法兰DN 200 ISO-K/ISO-F/CF-F / DN 40 ISO-KFDN 250 ISO-K/ISO-F/CF-F / DN 40 ISO-KF

普发 HiPace 1200/1500 涡轮分子泵参数与选型

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旧版更正

旧版写的「HiPace 1500 突破 1500 L/s」不对,官方氮气抽速是 1400 l/s;噪声官方为 50 dB(A),不是 55 dB;「平均无故障时间超 2 万小时」「通过 ISO 9001 认证」「7×24 小时技术支持、上门安装」等说法没有出处,已删除。

选型要点

先看腔体口径:DN 200 选 1200,DN 250 选 1500。再看工艺气体:这两款对氢气的压缩比是 6×10³,比氮气的 1×10⁸ 低得多,抽氢气、氦气为主的系统,前级泵和前级压力要留余量。前级泵要保证前级压力不超过 2 hPa。安装方向允许高真空法兰朝上 0°~90°,或朝下 90°~180°。

维修和送修

分子泵送修前请准备:铭牌照片(型号、序列号)、驱动器报警代码、累计运行时间、故障现象(异响、升速慢、跳停、真空度差)。我们修过普发 HiCube 80 Eco 分子泵组(散热风扇损坏、真空度差);HiPace 1200/1500 能不能修、配件能不能供,先看铭牌和故障再确认。普发油润滑分子泵的油棉、轴承料号见普发分子泵油棉、轴承包料号对照,相邻规格见 HiPace 1800/2300,更多见分子泵维修栏目。

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