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普发 ATH 500 M/MT 磁悬浮涡轮分子泵参数与维护
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ATH 500 M 和 ATH 500 MT 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）的磁悬浮涡轮分子泵，采用主动磁轴承，驱动电子单元集成在泵上，可任意方向安装。氮气抽速最高 550 l/s，极限压力 <1×10⁻⁸ mbar，额定转速 50000 rpm；MT 版带集成加热（最高 65 ℃），用于化学条件苛刻的工艺。普发说明书写明这类泵面向镀膜和干法刻蚀等等离子体工艺、玻璃镀膜和研发应用。
官方参数（普发产品单页）
| ATH 500 M | ATH 500 MT | |
|---|---|---|
| 抽速 N₂ / Ar / He / H₂ | 350–550 / 320–530 / 310–390 / 170–190 l/s | 550 / 530 / 390 / 190 l/s |
| 压缩比 N₂ / H₂ | 2×10⁷ / 2×10² | 2×10⁷ / 2×10² |
| 极限压力 | <1×10⁻⁸ mbar | <1×10⁻⁸ mbar |
| 最大前级压力 N₂ / H₂ | 2.6 / 0.25 mbar | 2.6 / 0.25 mbar |
| 满速气体通量 N₂ | 4000 sccm | 500 sccm |
| 额定转速 / 启动时间 | 50000 rpm / <2 min | 50000 rpm / <2 min |
| 供电 / 启动最大功耗 / 待机功率 | 48 VDC / 560 W / 100 W | 48 VDC / 560 W / 100 W |
| 最高加热 / 烘烤温度 | — / 120 ℃ | 65 ℃ / 120 ℃ |
| 噪声 / 振动（额定转速） | <42 dB(A) / <0.01 μm | <42 dB(A) / <0.01 μm |
| 进气 / 排气 | DN 100、DN 160 / DN 25 ISO-KF | DN 160 / DN 40 ISO-KF |
| 重量（约） | 17 kg | 18 kg |
M 和 MT 怎么选
两者抽速、压缩比、前级耐压一样，差别在气体通量和加热：M 版满速 N₂ 通量 4000 sccm，MT 版只有 500 sccm，但 MT 带加热，更能抑制工艺副产物在泵内沉积。大流量工艺选 M，副产物容易凝结的腐蚀性工艺选 MT。两款推荐前级泵都是 ACP40，推荐吹扫气流量 50 sccm，冷却水 60 l/h、15～25 ℃，供电 48 VDC。
维护周期（普发说明书）
- 按工艺定周期：有腐蚀或冷凝物的金属/导体刻蚀约 12 个月；轻刻蚀、无冷凝物的沉积约 24 个月；不用反应气体的洁净应用约 60 个月。
- 保护轴承（landing bearings）：防意外进气、撞击、断电时转子落下，驱动单元按落下次数和时长计磨损百分比，到报警阈值就要由服务中心更换。
- 转子：运行 5 年后建议由服务中心检查转子状态。
送修与询价
送修请准备：铭牌照片（型号、序列号）、控制器报警记录、保护轴承磨损百分比读数、所用工艺气体。整机和备件可询价，原厂件和兼容件在报价里分开标明，价格和货期在报价中确认。同类磁悬浮泵见 ATH 4506 M，维护资料见 ATH 1603 分子泵维护手册；维修见普发维修专题和分子泵维修栏目。
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