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普发 HiPace 800 P 镀膜用涡轮分子泵参数与维护
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HiPace 800 P 是普发真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace 800 系列里专为镀膜工艺设计的涡轮分子泵：氮气抽速 785 l/s，转子/定子针对镀膜优化，采用混合轴承，可在现场更换轴承，普发称其对工艺粉尘不敏感。重量约 12.7 kg，可任意方向安装，标配 RS-485 和远程接口。
官方参数（普发产品单页）
| N₂ | Ar | He | H₂ | |
|---|---|---|---|---|
| 抽速 | 785 l/s | 770 l/s | 595 l/s | 320 l/s |
| 压缩比 | 1×10⁶ | 1×10⁷ | 3×10³ | 4×10² |
| 满速气体通量 | 2.5 hPa·l/s | 2 hPa·l/s | 5 hPa·l/s | 8 hPa·l/s |
另：氮气最大前级压力 1.1 hPa，启动时间 1.6 min，噪声 50 dB(A)，进气 DN 200 ISO-K/ISO-F/CF-F，排气 DN 25 ISO-KF。
选型要点
看气体：800 P 对氢气的抽速只有 320 l/s、压缩比 4×10²，远低于氮气（785 l/s、1×10⁶），抽氢多的工艺要另外评估。看前级：氮气最大前级压力 1.1 hPa，前级泵要保证在这以下。看口径：高真空法兰有 DN 200 ISO-K、ISO-F、CF-F 三种，前级 DN 25 ISO-KF。普发官方列出的应用包括 PVD、PECVD、ALD、离子注入、load lock 等半导体工艺。同系列其他版本：HiPace 800（标准）、HiPace 800 M、HiPace 800 H。
维护周期（普发说明书）
- 储油芯（operating fluid reservoir）至少每 4 年更换一次，用户可自行更换，电子驱动单元也可自行更换。
- 涡轮泵轴承至少每 4 年更换一次。
- 负载重或工艺不洁净时，维护周期要缩短，具体和普发确认。
送修与询价
分子泵送修请准备：铭牌照片（型号、序列号）、驱动器报警代码、累计运行时间、故障现象（异响、升速慢、跳停、真空度差）、所用工艺气体。镀膜工况的泵常带沉积物，寄出前说明工艺材料。整机和备件可询价，原厂件和兼容件在报价里分开标明，价格和货期在报价中确认。维修见普发维修专题和分子泵维修栏目。
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