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氦质谱检漏仪怎么选_真空法与吸枪法、型号对照
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氦质谱检漏仪先定检测方法,再定灵敏度、前级泵类型和粗抽能力:工件抽真空、外面喷氦用真空法;工件里充氦、外面拿吸枪找用吸枪法。原则是尽量按工件实际使用时的压力方向来测;找漏点用局部检漏,判整件漏率合不合格用整体检漏。怕油污染的洁净件选干式前级的机型。
常见工况怎么选
| 工况 | 怎么选 | 依据 |
|---|---|---|
| 真空腔体、真空炉、真空系统 | 真空法(喷氦),灵敏度最高 | 普发知识库 7.2 |
| 带压容器、管路、制冷 / 换热件 | 吸枪法,工件内充氦,压差大于 100 hPa | 普发知识库 7.2 |
| 产线判合格(整件总漏率) | 整体检漏:工件放进罩子或箱体里测 | 普发知识库 7.2.6 |
| 怕油污染的洁净工件 | 干式前级(隔膜泵或多级罗茨)机型 | ASM 340 单页、ASM 390/392 单页 |
| 已有真空系统,只缺质谱部分 | 不带前级泵的机型(如 ASM 340I)接自己的泵 | ASM 340 单页 |
同一台 ASM 340,喷氦法最小可检 1×10⁻¹² mbar·L/s,吸枪法是 5×10⁻⁹ mbar·L/s,差了三个多数量级。1 Pa·m³/s = 10 mbar·L/s,对比不同厂家参数时先统一单位。
型号对照(按前级泵和粗抽能力)
| 型号 | 前级泵 / 粗抽能力 | 原厂 / 产品页参数 |
|---|---|---|
| 普发 ASM 306S | 吸枪专用 | 氦吸枪 1×10⁻⁷ mbar·L/s,可测 H₂(原厂单页) |
| 普发 ASM 310 | 隔膜泵 / 1.7 m³/h | 喷氦 1×10⁻¹²,吸枪 1×10⁻⁷ mbar·L/s,最高检测口压力 15 mbar(原厂单页) |
| 普发 ASM 340 / 340D / 340I | 旋片泵 15 m³/h / 隔膜泵 3.4 m³/h / 不带前级 | 喷氦 1×10⁻¹²,吸枪 5×10⁻⁹ mbar·L/s,检测口最高 25 mbar(原厂单页) |
| 普发 ASM 390 / 392 | 多级罗茨干泵 / 35 m³/h | 氦抽速 10 / 25 L/s,检测口最高 20 mbar(原厂单页) |
| TXL-840D / ZXL-830 | 机械泵 15 / 8(12) m³/h | 最小可检 3×10⁻¹³ Pa·m³/s,检漏口最高 1500 Pa(本站产品页) |
粗抽能力从 1.7 m³/h 到 35 m³/h 差二十倍,工件或腔体容积大的,要按它算抽到可检压力要多久。校准用的标准漏孔见SK 系列校准漏孔对照。
我们修过的检漏仪上看到的
检漏仪报「坏了」,很多时候问题在里面的前级泵或分子泵,不在质谱室;皖仪 SFJ-271 开机无法运行,拆检是内置分子泵磨损、密封圈损坏(检漏仪维修)。所以选机时前级是油泵还是干泵,决定了以后换油、换泵的保养内容,一起问清。
买之前先说清这几件事
1. 工件是什么、多大容积,使用时内部是真空还是带压;
2. 要找漏点还是判整件漏率,合格漏率是多少(带单位);
3. 是实验室 / 维修用还是产线节拍用,要不要移动推车;
4. 洁净要求:能不能接受油旋片前级;
5. 电源电压,要不要数据导出和通讯接口;
6. 要不要吸枪、喷枪、标准漏孔,以后灯丝、离子源在哪换。
联系厦门太星机电
厦门太星机电有限公司,2009 年成立,集美有自己的维修车间:买泵、配件、以后修泵是同一家。进口品牌和太星自有型号都可以询价,先发工况和旧泵铭牌照片,对上型号再报价。
电话:15880223078(微信同号)
地址:厦门市集美区东安村前占里19号之二
选型参考：涡轮分子泵怎么选
