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COBRA DS 2141 A干式螺杆真空泵
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技术规格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 2141 A
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
为匹配半导体行业对真空系统 “超高洁净、耐蚀稳定、精密适配” 的严苛要求，COBRA DS 2141 A 干式螺杆真空泵专为半导体核心制程定制，可广泛应用于晶圆刻蚀、薄膜沉积（PVD/CVD）、离子注入、芯片封装测试等关键环节，是保障半导体制程良率的核心设备。
其采用无油干式螺杆设计，从根源油蒸汽污染，符合 ISO 14644-1 Class 1 级洁净标准，避免晶圆表面因油污残留导致的良率损耗；针对制程中常见的 Cl₂、NF₃等腐蚀性气体，泵腔选用哈氏合金与 PTFE 复合涂层，耐蚀性提升 300%，使用寿命可达 12000 小时以上，大幅降低设备更换成本。
真空性能上，极限真空度达 10⁻³Pa，抽气速率稳定且响应迅速，能快速建立并维持高真空环境，保障刻蚀线宽均匀性、薄膜沉积厚度精度；同时优化低振动结构（振动量≤2mm/s）与静音电机（运行噪音≤65dB），避免干扰周边光刻机、探针台等精密设备。
设备符合 SEMI S2/S3 半导体安全标准，模块化设计让核心部件拆装无需整机拆解，维护时间缩短 50%，减少生产线停机损耗；搭配智能监测系统，支持实时数据反馈与远程运维。现提供 7×24 小时技术支持、上门安装调试及 18 个月质保，为半导体企业降本增效、稳定产能提供可靠保障。
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