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COBRA DS 0700–2000 G干式螺杆真空泵
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技术规格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 0700–2000 G
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
为平板显示器生产打造的 COBRA DS 0700–2000 G 干式螺杆真空泵，以核心技术赋能精密制造。无油洁净设计从源头 OLED 蒸镀、LCD 灌注污染，0.001 hPa 极限压力匹配 10⁻⁶ mbar 蒸镀标准。700 - 2000 m³/h 宽幅抽速适配 8.5 代线多腔体作业，等温压缩技术降低 23% 能耗，年节电超 12 万。悬空轴承设计将振动控制在 60dB 以下，保障微米级镀膜均匀性，助力面板良率提升至 99.3%。免维护结构减少 90% 停机时间，水冷系统支持 24 小时连续生产，为 PECVD、TCO 镀膜等工艺提供稳定真空环境。
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