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COBRA DS 8162/8163 B/F干式螺杆真空泵
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适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
技术规格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 8162/8163 B/F
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
在平板显示器生产中，Load lock 腔体作为晶圆 / 玻璃基板传输的关键环节，对真空系统的抽速、洁净度及稳定性要求严苛，COBRA DS 8162/8163 B/F 干式螺杆真空泵正是为此场景量身打造的解决方案。
其 7000-7385m³/h 的超大抽速，能快速将 Load lock 腔体从常压抽至目标真空度（极限压力低至 0.001hPa），大幅缩短腔体开关门后的抽气周期，配合集成真空助力器，控制压力波动，避免基板在传输过程中因真空不稳定出现位置偏移，保障显器生产节拍连贯。
针对平板显器制程中 Load lock 腔体可能残留的微量颗粒与蒸汽，设备采用干式无油设计，从源头油蒸汽污染，避免基板表面出现油污瑕疵，同时耐颗粒结构可减少杂质堵塞风险；水冷系统能稳定控制泵体温度，即便 24 小时连续运行也能保持性能稳定，降低维护频次与成本。
此外，紧凑的机身结构适配 Load lock 腔体周边有限的安装空间，无需复杂改造即可快速集成，无论是 LCD 还是 OLED 显器生产线，都能轻松适配，为平板显示器企业提升产能、保障产品良率提供可靠真空支持。
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