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厦门半导体光电面板用真空泵｜分子泵、干泵与检漏仪选型
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半导体、LED 和显示面板的镀膜、刻蚀、离子注入等工艺腔体，要在高真空下工作，标准配置是涡轮分子泵（或低温泵）+ 前级干式真空泵：干泵把腔体从大气抽到分子泵能启动的压力，分子泵再把腔体抽到高真空；整套系统和腔体的密封用氦质谱检漏仪检查。这三样都必须无油。下面说各自怎么选，以及我们能供、能修的型号。
厦门及周边集中了光电显示、LED 芯片、集成电路和光伏等产业。厦门太星机电在厦门集美，厦门本地可以上门，省内外可以寄修。
一、哪些工序用到高真空
薄膜沉积：溅射、蒸镀（PVD）以及 CVD、PECVD，面板的 ITO 和金属层、LED 的电极都在这里做；
刻蚀：干法刻蚀腔体在低压下通工艺气体，排出的气体有腐蚀性，还会带出反应副产物；
离子注入：束线和腔体都要高真空，常用低温泵或分子泵；
传片腔、装载腔（Load lock）：反复抽放大气，用干泵；
检测与分析：质谱、电镜、表面分析仪器配小型分子泵机组。
二、分子泵怎么选
1. 抽速：按腔体容积、工艺气体流量和要求的工作压力定，型号里的数字通常就是标称抽速（L/s）。
2. 轴承形式：磁悬浮分子泵无接触、无润滑，振动小，适合对洁净和振动敏感的设备；油润滑或脂润滑的机械轴承分子泵购置成本低，但轴承要按周期保养。
3. 气体种类：分子泵对氢、氦这类轻气体的压缩比明显低于氮气，工艺以轻气体为主时，要核对前级压力和压缩比；腐蚀性工艺选耐腐蚀款并通保护气。
4. 前级配套：前级泵要在分子泵允许的前级压力以下稳定工作，抽速要跟得上分子泵排出的气量。
三、前级干泵怎么选
半导体前级用多级罗茨干泵或干式螺杆泵，不用油封泵，因为油蒸气返流会污染晶圆和膜层。刻蚀、CVD 的前级要看泵能不能耐腐蚀气体和副产物沉积：泵体保温、氮气吹扫这些配置要和工艺对上；Load lock 和洁净工艺可以用较轻的型号。
四、检漏仪怎么选
腔体、管路、阀门和焊缝的泄漏，用氦质谱检漏仪找。洁净场合选内置干式前级泵的检漏仪；需要在大腔体上直接检漏的，看检漏仪的前级抽速和检漏口耐压；只做吸枪嗅探的，看吸枪灵敏度和响应时间。
五、我们车间修分子泵、干泵看到的
分子泵送修，最常见的是轴承和散热两类。我们修过的一台莱宝 TURBOVAC TW70H 噪音异常，拆开导流壳、定子底座、定叶轮都被污染，轴承损坏；一台普发 HiCube 80 Eco 分子泵组运行时泵体发烫、真空度差，原因是散热风扇损坏停转。皖仪 SFJ-271 检漏仪开机无法运行，查出是内置分子泵磨损。前级干泵方面，一台荏原 ESR100CN 送厂保养，查出直流电机消磁、轴承损坏。日常能做的：风冷分子泵定期看风扇是否在转，水冷的看水温和流量；分子泵出现异响或升速变慢，先停机送检，别等转子碰撞。
相关维修记录：
莱宝 TW70H 分子泵案例、普发 HiCube 80 Eco 案例、皖仪 SFJ-271 检漏仪案例、荏原 ESR100CN 干泵案例；维修栏目：分子泵维修、干式真空泵维修、检漏仪维修、镀膜机维修。六、我们能供的设备（点进去看型号参数）
分子泵：普发 HiPace 700、普发 HiPace 300、爱德华 EXT 系列、CXF-200/1401 磁悬浮分子泵，更多见分子泵栏目。
分子泵机组：普发 HiCube Neo、FJ-700 无油分子泵机组。
低温泵：ECM 系列半导体低温泵。
前级干泵：荏原 ESR100CN 多级罗茨干泵、爱德华 iGX600、汉钟 PD 系列干式螺杆泵。
检漏仪：普发 ASM 310、TXL-840D 干式氦质谱检漏仪，更多见检漏仪栏目。
分子泵轴承、油棉等件号见普发分子泵油棉、轴承包料号对照。
整机有原装进口品牌，也有国产品牌；配件有原厂件也有兼容件，两种我们都能供，报价里会写明是哪一种。
要报价，请告诉我们这几项
1. 设备和工艺（溅射 / 蒸镀 / CVD / 刻蚀 / 检测）；
2. 腔体容积、工作压力、主要工艺气体；
3. 现有分子泵、干泵、检漏仪的品牌型号，拍铭牌照片；
4. 维修的，写清故障现象：异响、升速慢、报警代码、真空度上不去。
联系我们
厦门太星机电有限公司，2009 年成立，车间在厦门集美。全国可以修，厦门上门。
电话 / 微信：15880223078（黄经理）
地址：厦门市集美区东安村前占里19号之二
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