普发 Pfeiffer HiCube 80 Eco 分子泵组维修案例：散热风扇损坏、真空度差

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普发 Pfeiffer HiCube 80 Eco 分子泵组维修案例：散热风扇损坏、真空度差

厦门太星机电维修车间的实修记录：一台 普发 Pfeiffer HiCube 80 Eco 分子泵组。

故障

真空不良，关机有异响，运行时泵体发烫。

检查

散热风扇损坏停转，真空度较差，运行时泵体严重发烫并有明显噪音。

处理方案

更换散热风扇，检查真空系统密封，并对泵体内部流道和轴承做全面检测维护。

普发 Pfeiffer HiCube 80 Eco 分子泵组维修实拍

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