真空维修
真空维修
/
EBARA ESR100CN 荏原多级罗茨干式真空泵 洁净水冷半导体前级干泵
返回列表
厦门太星机电有限公司（Taixing Vacuum）长期供应日本荏原 EBARA ESR100CN 多级罗茨干式真空泵。本机型定位为洁净、无油、稳定的水冷型干泵方案，标称抽速范围覆盖 4000~8500 L/min，极限真空可达 0.2 Pa，适合作为半导体前级真空泵及多行业洁净工艺抽气设备。针对福建地区项目，我们可提供选型支持、全周期真空泵维修服务，并支持上门勘测，帮助用户把控安装条件、管路匹配与工艺稳定性。
作为多级罗茨结构的干式真空泵，ESR100CN 在抽气过程中不引入油污染，特别适用于对洁净度敏感的晶圆制程、光电显示镀膜、锂电相关工艺等场景。水冷设计有助于在长时间运行下维持温度可控与运行稳定，对连续生产、节拍稳定和良率管理有更友好的适配性。若您需要了解更多干泵选型、安装与维护要点，可访问 太星机电真空泵产品中心 获取参考信息。
我们不仅提供设备供应，也可围绕用户现场工况提供配套建议，例如前后级组合、接口与管径核算、冷却水条件确认、工艺负载评估等，协助将“抽速—极限真空—稳定运行”三者匹配到实际制程需求。如需进行工艺对标或快速定位合适的前级干泵方案，可通过 真空系统选型支持 进一步沟通。
针对已在产线运行的 EBARA 干泵，我们可提供全周期真空泵维修服务（包含检测、保养、故障诊断与建议），帮助用户降低停机风险并提升长期可用性。福建地区支持上门勘测，便于更准确地核实安装空间、冷却水与排气条件、现场振动噪声限制等。更多服务信息可参考 真空泵维修与维护服务。
ESR100CN 常见应用覆盖半导体、光电显示、锂电等多行业工况，尤其适合对洁净度与稳定性要求较高的生产环节；对于需要洁净无油、并希望在较宽抽速范围内兼顾效率与真空能力的用户，该机型具备较强适配性。若您希望对比同类多级罗茨干泵或了解配件与耗材建议，可访问 EBARA 干泵应用与配套参考。
| 产品型号 | EBARA ESR100CN |
| 类型 | 多级罗茨干式真空泵（洁净无油） |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 标称抽速 | 4000 ~ 8500 L/min |
| 极限真空 | 0.2 Pa |
| 典型应用 | 半导体晶圆制程前级、光电显示、镀膜相关工艺、锂电等多行业洁净工况 |
| 供应与服务 | 提供选型支持、全周期真空泵维修服务；福建地区支持上门勘测 |
相关专题：干式螺杆真空泵维修：修过的型号与故障实例
相关专题：罗茨泵维修：修过的型号
型号专题：荏原 ESR100CN 干泵维修
