COBRA DS 0080/0160 G干式螺杆真空泵

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技术规格


ISO 50 HzISO 60 Hz


COBRA DS 0080/0160 G干式螺杆真空泵

尺寸图

COBRA DS 0080/0160 G

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抽速

空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%


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市场和应用

半导体应用

金属和高 K 蚀刻

LPCVD / 扩散

ALD

PECVD

Si Poly etch

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