COBRA DS 1200/1800 A/A X干式螺杆真空泵

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COBRA DS 1200/1800 A/A X干式螺杆真空泵


干式螺杆真空泵


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干式螺杆真空泵


     技术规格


 ISO 50 HzISO 60 Hz


干式螺杆真空泵


尺寸图


COBRA DS 1200/1800 A/A X


干式螺杆真空泵

抽速


空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%


干式螺杆真空泵

市场和应用

平板显示器生产

物相沉积（PVD）

半导体应用

金属和高 K 蚀刻

LPCVD / 扩散

ALDPECVD

钴、WCVD、TiN 和 TDMAT

退火

Si Poly etch

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干式螺杆真空泵

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