COBRA BC 0601–1200 A/G干式螺杆真空泵

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COBRA BC 0601–1200 A/G干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵

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           技术规格


        ISO 50 HzISO 60 Hz

干式螺杆真空泵

尺寸图


COBRA BC 0601–1200 A/G

干式螺杆真空泵


抽速


空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%

干式螺杆真空泵


市场和应用

半导体应用

PVD

金属和高 K 蚀刻

氧化物蚀刻

剥离 / 灰化

钴、WCVD、TiN 和 TDMAT

退火

Si Poly etch

轻沉积

离子注入


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