COBRA DS 0600 E干式螺杆真空泵

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COBRA DS 0600 E干式螺杆真空泵

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干式螺杆真空泵

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技术规格


ISO 50 HzISO 60 Hz

干式螺杆真空泵

尺寸图


COBRA DS 0600 E

干式螺杆真空泵

抽速


空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%

干式螺杆真空泵

市场和应用

半导体应用

金属和高 K 蚀刻

LPCVD / 扩散

ALD

PECVD

Si Poly etch

配件

· 适用于严苛应用的 Tantal 涂层

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