真空维修
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涡轮分子泵报错、升不了速、轴承异响怎么办_自查
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分子泵升不到额定转速,原厂故障表先列的是前级压力太高、泵或系统漏气、进气量太大,然后才是转子运转不平稳、轴承损坏;运行中有异常声音,原厂列的原因是转子轴承或转子损坏,要停机找维修。先自己查:前级泵是否正常、能不能把压力抽到分子泵允许的前级压力以下,风冷的通风够不够、水冷的水量够不够,法兰密封有没有漏;报警代码按控制器说明书查。
症状 → 原因 → 自查 → 送修对照(以普发 HiPace 300 P 说明书为例)
| 症状 | 可能原因 | 自己能做的检查 | 这种情况送修 | 依据 |
|---|---|---|---|---|
| 不启动,驱动器指示灯都不亮 | 供电中断、电压不对或没上电;驱动器损坏 | 查电源插头和线路,量电源模块输出(24 V 或 48 V DC,看驱动器铭牌) | 驱动器损坏 | HiPace 300 P 说明书 第 10 章 |
| 在设定升速时间内到不了额定转速 | ① 前级压力太高 ② 分子泵漏气 ③ 进气量太大 ④ 转子运转不平稳、轴承损坏 ⑤ 升速时间设得太短 | 查前级泵是否正常、是否匹配;检漏,查密封和法兰;减小工艺气量;听有没有异响 | 有异响、怀疑轴承 | HiPace 300 P 说明书 第 10 章 |
| 发热降速、停机 | 通风不足、冷却水量太低、前级压力太高、环境温度太高;超温时驱动器先降功率,必要时关机 | 保证进风;调冷却水流量;降前级压力;环境温度风冷 5–35 ℃、水冷 5–40 ℃ | — | HiPace 300 P 说明书 第 2、10 章 |
| 抽不到极限压力 | ① 分子泵被污染 ② 腔体、管路或分子泵漏气 | 需要时烘烤;从真空腔开始检漏 | 污染需要清洗 | HiPace 300 P 说明书 第 10 章 |
| 运行中有异常声音 | ① 转子轴承损坏 ② 转子损坏 ③ 防护网松动 | 检查高真空法兰里的防护网装牢没有 | 轴承或转子损坏 | HiPace 300 P 说明书 第 10 章 |
| 驱动器红灯亮 | 综合故障 | 断电再上电复位;用控制器读出具体故障 | 复位不掉 | HiPace 300 P 说明书 第 10 章 |
保养和停机:HiPace 300 P 前级侧是油润滑球轴承,储油器按不超过 5 年的间隔更换,用户可以自己换;换轴承原厂建议由服务站做。储油器里的油有保存期限,停机超过 2 年、或运行加停机合计超过 4 年要换,油老化会导致球轴承失效。抽粉尘的工况,叶片会磨损、沉积物会缩短保养间隔,分子泵只能用干燥惰性气体放气(普发知识库 4.9)。
莱宝 TURBOVAC、爱德华、岛津 TMP、安捷伦 TwisTorr 的报警代码各不相同,以该型号控制器说明书为准;磁悬浮分子泵和油润滑轴承泵结构不同,送修时说明是哪一种。
我们拆过的泵上常见的
· 普发 HiCube 80 Eco 分子泵组:送修的都是真空度差、有噪音,拆检都查到散热风扇损坏;有的风扇停转后泵体严重发烫、关机有异响,有的还有支架变形。温度一高,真空和噪音会一起变差(普发分子泵维修);
· 莱宝 TURBOVAC TW70H:进厂噪音异常、无法测试,导流壳、定子底座、定叶轮等内部件都有污染,轴承损坏;更换轴承、O 形圈、分子泵油和静环叶片后装机测试正常。我们也修过莱宝 MAG W 2201 iP 磁悬浮分子泵(莱宝维修专题);
· 检漏仪里的分子泵:皖仪 SFJ-271 开机无法运行,是内置分子泵磨损开不起来(检漏仪维修专题)。
检漏仪报「分子泵转速」类故障的,另见检漏仪本底高、灵敏度下降怎么办;选型时前级泵怎么配见涡轮分子泵怎么选。
送修前准备什么
1. 分子泵和控制器(驱动器)的铭牌照片;
2. 故障现象:报警代码原文,出现时的转速、温度,升速要多久,有没有异响;
3. 使用工况:前级泵型号,风冷还是水冷,抽什么气体,有没有粉尘、镀膜沉积;
4. 是否抽过腐蚀性或有毒气体——抽过的寄之前说明(普发返修也要求附污染声明)。
分子泵怕震:进气口装好保护盖,用原包装或厚泡沫加木箱固定,不要和别的重物混装(见福州页寄泵注意)。
联系厦门太星机电
厦门太星机电有限公司,2009 年成立,集美有自己的维修车间。全国可以修,厦门上门:外地的设备寄到或送到集美车间。福建各地市怎么送修见福建真空泵维修。太星是第三方维修,不是原厂官方维修站。
电话:15880223078(微信同号)
地址:厦门市集美区东安村前占里19号之二
型号维修：普发HiPace300分子泵维修
