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普旭 Busch COBRA 系列干式螺杆真空泵
普旭 Busch COBRA 系列干式螺杆真空泵,也常称半导体干式螺杆真空泵、无油螺杆真空泵。
它为工业高真空场景设计,无油运行、抽速稳定、耐腐蚀,适配半导体、电子、镀膜、化工等工艺,具备智能控制、散热、移动便捷的特点,是精密制造与真空工艺核心抽真空设备,性能可靠适配严苛生产工况。
普发真空(Pfeiffer Vacuum)DS 0600 E 真空泵的抽气速率 - 压力特性曲线图表。图表中,横坐标 “p” 表示压力,单位为 hPa(mbar);纵坐标 “Ṽ” 表示抽气速率,单位为m3/h,展示了该型号真空泵在不同压力下的抽气速率变化情况。
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