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德国普旭(Busch)COBRA 系列干式螺杆真空泵
德国普旭(Busch)COBRA 系列干式螺杆真空泵,专为半导体、光伏等制程设计。采用专利自平衡螺杆技术,实现无油干式运行,极限压力低至 0.001 hPa,抽速覆盖宽泛。模块化设计适配风冷 / 水冷,智能联控系统保障稳定低噪运行,紧凑机身搭配移动脚轮便于部署,是严苛工业真空场景的可靠之选。
普发真空(Pfeiffer Vacuum)DS 0600 E 真空泵的抽气速率 - 压力特性曲线图表。 图表中横坐标 “p” 代表压力,单位是 hPa(mbar),纵坐标 “Ṽ ” 代表抽气速率,单位是m 3 /h
,展示了该型号真空泵在不同压力下对应的抽气速率情况。
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