案例展示
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安捷伦离子泵 VacIon Plus 300
安捷伦离子泵 VacIon Plus 300
VacIon Plus 300
安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode VaclonPlus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode VaclonPlus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的专利设计使其成为能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10 -8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
安捷伦 VacIon Plus 300 离子泵核心特性
极致真空性能:抽速达 300 L/s,极限真空低至 < 1×10⁻¹¹ mbar,满足超高真空场景需求;
超长耐用免维护:无活动部件设计,使用寿命高达 8 万小时,低振动低干扰,运维成本极低;
灵活适配多场景:三种抽气单元可选,支持定制化配置,兼容半导体、科研实验等多领域;
稳定可靠易操作:搭载智能监控系统,运行状态实时可视,安装便捷且适配复杂工况,性能持续稳定。
安捷伦 VacIon Plus 300 离子泵部件号及功能说明
核心抽气单元
部件号 9191641(StarCell 三极型):适配惰性气体与氢气混合场景,星形阴极提升氩气、氦气传输效率,抽速达 240 L/s,满足粒子物理、半导体制造需求。
部件号 9192622(Noble Diode 改进型二极):侧重残留惰性气体抽除,搭配低温面板,水蒸气抽速大幅提升,适用于高洁净真空系统。
二极型单元:适配氢气抽速优先场景,系统少泄漏或排气的通用 UHV/XHV 应用,保障基础真空性能。
辅助功能部件
部件号 9240122M001(高压电缆):配套高压传输,适配 Fischer/SHV 接头,确保泵体与控制器稳定连接。
100-240V 加热器(580W):支持 350℃烘烤,适配高洁净度需求场景,保障真空密封性。
8 英寸 CFF 法兰(NW150):含双法兰、侧孔选项,适配多方向真空穿导,兼容不同系统安装需求。
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2025-12-04
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