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爱德华涡旋干泵 nXDS20i
2025-12-03
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概述
nXDS20i 是下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。 气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 还采用了端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。 具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 可完全进行现场维修。
nXDS-C 泵是改进型的 nXDS，适用于蒸汽处理制程，可用于某些涉及腐蚀性物质的泵送应用。nXDS-C 型具有 Chemraz® 内部阀和不锈钢接头，可提供额外的泵送介质防护。
真空泵样图及剖面图
特性与优势
性能
尺寸
爱德华 nXDS20i 涡旋干泵凭借无油洁净、低噪稳定、适配可凝性蒸汽的特性，主要应用于以下场景：
科研实验室：质谱分析、样品冻干、真空镀膜、材料表征等洁净真空需求的实验环节。
半导体 / 微电子领域：芯片封装、微器件制造过程中的真空夹持与环境控制，避免油污染影响产品良率。
分析仪器配套：扫描电镜（SEM）、电子探针等设备的真空系统配套，保障仪器运行。
生物医药行业：生物样品真空干燥、无菌真空处理，符合洁净生产要求。
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