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PANDA WZ 0250–2400 A/B罗茨真空泵
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优化的气密性，适合中真空和高真空应用
技术规格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸图
PANDA WZ 0250–2400 A/B
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
PANDA WZ 0250–2400 A/B 罗茨真空泵：工业真空系统的性能倍增器
PANDA WZ 0250–2400 A/B 罗茨真空泵是精密制造领域的核心设备，为中高真空需求场景提供稳定可靠的真空解决方案。采用高强度 GGG40 铸铁材质打造，具备卓越的耐化学腐蚀性和机械强度，泄漏率低至≤1×10⁻⁶ mbar・l/s，确保严苛工艺中的零污染运行。
该系列泵抽气速率覆盖 263-2540 m³/h（50/60Hz），配合 53-100 hPa 的最大压差设计，能将真空系统性能提升十倍以上。集成智能旁通阀可自动调节压力波动，在太阳能电池板 PECVD 工艺中作为 “辅助呼吸肌”，显著缩短从粗真空到高真空的过渡时间，提升生产节拍。
灵活安装设计是其突出优势，支持法兰连接到系统任意位置，纵向或横向排放方式适配不同厂房布局。5.5-6.6kW 高效电机搭配精密传动系统，实现低能耗运行，较传统设备节能 15% 以上。无接触转子结构减少磨损，大幅延长维护周期，降低停机成本。
专为半导体刻蚀、平板显示溅射等高端工艺设计，符合 CE、UL 等国际标准，满足 SEMI S2 安全规范。无论是多晶硅刻蚀的腐蚀性环境，还是半导体薄膜沉积的超高洁净要求，都能稳定输出高极限真空。
从实验室研发到大规模量产，PANDA WZ 系列凭借 20000 小时以上的稳定运行能力，为您的生产保驾护航，是提升工艺精度与产能的理想之选。
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