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COBRA DS 5161/9161 B干式螺杆真空泵
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技术规格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 5161/9161 B
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
COBRA DS 5161/9161 B 干式螺杆真空泵：制造的真空解决方案
德国普旭 COBRA DS 5161/9161 B 干式螺杆真空泵凭借技术性能，成为半导体、光伏等制造领域的核心设备。其 4200-6160 m³/h 的高抽速与 0.001 hPa 的极限真空度，能在 30 分钟内打造超高洁净真空环境，满足严苛工艺需求。
采用创新干式无油设计，搭配可锻铸铁基材与特殊钽涂层螺杆，形成双重防护，油污染风险，适配光刻、PECVD 镀膜等超高洁净要求的制程。专利螺杆结构具备超强抗腐蚀与防沉积能力，可稳定处理含微粒、水汽及腐蚀性气体的复杂工况，大幅减少停机清理时间。
集成罗茨真空 booster 技术，在高真空区仍保持强劲抽速，配合 3600 min⁻¹ 的高转速电机，显著缩短工艺周期。水冷系统实现控温，确保设备长时间稳定运行，延长使用寿命。
智能节能表现突出，通过恒速 / 压力控制双模式切换及 ECO 算法，较传统设备节能达 50%。75dB 低噪运行与紧凑设计，节省安装空间并改善车间环境。长保养周期与模块化结构降低维护成本，加上 ATEX 防爆认证，可安全应用于化工、医药等危险工况。
从光伏电池片生产到锂电池干燥，从半导体蚀刻到医药冻干，这款真空泵以德国制造的精密品质与服务网络，为各行业提供稳定可靠的真空解决方案。
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