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CT-TW-H热湿混合法
技术规格ISO
尺寸图
CT-TW-H
市场和应用
半导体应用
LPCVD / 扩散
氧化物蚀刻
PECVD
配件
· 加热套
· 废气入口氮气加热
· 排气风扇套件
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