TORRI BD 0100–0600 A多级罗茨真空泵

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多级罗茨真空泵


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技术规格


ISO 50 HzISO 60 Hz


多级罗茨真空泵

尺寸图


TORRI BD 0100–0600 A


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抽速


空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%


多级罗茨真空泵

市场和应用

分析及实验室

光子学研究

半导体应用

PVD,检验与计量,光刻技术,退火

Load lock 和 传输,离子注入

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多级罗茨真空泵

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