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COBRA DS 3010/3161 C/G干式螺杆真空泵
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技术规格
ISO 50 HzISO 60 Hz
尺寸图
COBRA DS 3010/3161 C/G
抽速
空气温度为 20°C 时， 公差：± 10%
市场和应用
平板显示器生产
Load lock 腔体
半导体应用
金属和高 K 蚀刻
LPCVD / 扩散
高流量应用
ALD
PECVD
Si Poly etch
太阳能发电行业
电池制造
配件
· 备有可选粉末加工版（仅适用于 DS 3010 G 和 DS 3161 C）
· 可选钽涂层
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