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CXF-320/3001型磁悬浮分子泵
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简短描述:
电磁轴承又称“有源磁悬浮轴承”，由磁轴承、传感器和控制系统组成。本设计具有动态响应及时调整，轴系高速运转可靠等特点。
磁悬浮分子泵是依靠磁力支撑轴系的泵。
系列磁悬浮分子泵是KYKY公司为满足现代半导体制造、芯片制造、工业电镀、科学仪器等领域的应用需求而开发的真空产生设备。
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