一种真空泵的氦质谱检漏装置

2024-02-23
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一种真空泵的氦质谱检漏装置

专利名称：一种真空泵的氦质谱检漏装置
专利类型：实用新型专利
专利号：ZL 2023 2 1775232.5
专利申请日：2023年07月07日
授权公告号：CN220525244U
授权公告日：2024年02月23日
证书号：第20503964号
专利权人：厦门太星机电有限公司
发明人：黄锦辉;林惠英;林少华;黄文连
发证机关：国家知识产权局

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