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PFEIFFER Vacuum（普发） DUO 65 双级油封旋片式真空泵
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一、产品定位与系列说明
DUO 65 属于普发 DuoLine 双级直联油封旋片泵，标准抽速 65 m³/h（50Hz），60Hz 可达 70 m³/h，是工业、实验室、镀膜、半导体主流前级泵（机械预抽泵），兼顾粗真空、中真空独立使用，分为 4 大版本：
- DUO 65（标准版）：普通工况，轴封结构，标配 P3 矿物真空油
- DUO 65/M（磁耦合标准款）：无轴封，整体泄漏极低，杜绝轴封漏油，洁净工艺优选
- DUO 65 C（防腐普通版）：适配轻微腐蚀气体，内部耐蚀材质
- DUO 65 MC（磁耦合防腐款）：强腐蚀工况专用，使用 PFPE 全氟聚醚油，半导体 / 蚀刻 / CVD 标配
二、核心标准技术参数（50Hz / 60Hz）
1. 真空性能
表格
| 参数项 | 50Hz（国内 380V） | 60Hz |
|---|---|---|
| 标称抽速 | 65 m³/h | 70 m³/h |
| 无气镇极限真空 | ≤2×10⁻³ hPa(mbar) | ≤2×10⁻³ hPa |
| 开启气镇极限真空 | ≤3×10⁻³ hPa | ≤3×10⁻³ hPa |
| 水蒸气容量 | ≈1000 g/h | ≈1120 g/h |
| 耐受水汽分压 | 20 mbar | 20 mbar |
| 最大排气背压 | 1500 hPa（可短期承压） | 1500 hPa |
2. 机械电气
- 电机：三相异步电机，50Hz 功率 1.5kW，60Hz 1.8kW
- 转速：50Hz 1500 rpm / 60Hz 1800 rpm
- 供电：国内标准 230/400V 三相 ±5%
- 电机保护：3TF PTC 温度传感器，过热自动停机
- 防护等级：IP55
- 冷却：风冷强制散热
- 噪音：≤61~64 dB (A)（空载）
- 油腔容积：4.2 L；标准用油：P3 真空油；防腐款专用 PFPE 油
- 接口：进气 / 排气均为 DN40 ISO-KF
- 外形尺寸：741×240×340 mm（长 × 宽 × 高）
- 整机重量：75 kg
- 内置配置：一体式气镇阀、高压安全溢流阀，安全阀泄漏率≤1×10⁻⁵ Pa・m³/s
三、核心结构优势
-
双级压缩结构
高低两级串联压缩，相比单级泵极限真空提升一个数量级，适合搭配分子泵、罗茨泵机组做前级。
-
集成气镇（Gas Ballast）
抽取含水汽、溶剂气体时打开气镇，避免水汽在泵油内凝结乳化，延长换油周期。
-
磁耦合版本（M/MC）核心优势
取消传动轴油封，无轴封渗漏风险，整机泄漏率＜1×10⁻⁷ Pa・m³/s；无润滑油外泄污染腔体，适配质谱、镀膜、半导体洁净制程。
-
防腐版 C/MC
泵腔、旋片、轴承采用耐化学腐蚀材料，配合惰性 PFPE 全氟油，可抽酸碱、卤素、有机溶剂腐蚀气体。
-
安全设计
内置高压安全阀，前级压力过高自动泄压保护泵体；电机 PTC 过热保护，防止干烧损坏。
四、典型应用场景
1. 工业真空
- 真空镀膜、光学 / 装饰膜、ITO 导电膜、等离子清洗
- 真空钎焊、烧结、热处理炉、真空脱泡、树脂灌注
- 罗茨泵机组、分子泵机组标配前级泵（CombiLine 真空机组常用搭配）
2. 半导体 / 微电子
- CVD、PVD、蚀刻设备前级（选用 DUO 65 MC 磁耦合防腐款）
- 晶圆封装、等离子去胶、检漏台
3. 实验室 / 分析仪器
- 扫描电镜 SEM、透射电镜 TEM、质谱仪 MS 前级预抽
- 冻干机、真空烘箱、手套箱、氦检设备
4. 医疗制药
- 真空冻干、等离子灭菌、药物脱气
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