Products
产品中心
产品中心
/Products
卡西亚玛KASHIYAMA SDE1220干式螺杆真空泵
返回列表
一、 核心技术参数
SDE1220专为应对大尺寸晶圆和FPD基板的严苛工艺而设计，其核心性能指标如下：
●
抽速与真空度：具备高达20,000 L/min的最大抽速，极限压力可达0.5 Pa，加速时间为35秒，能够迅速且稳定地建立并维持高真空环境。
●
物理规格：设备重量约为340 kg，外部尺寸为宽400mm × 高780mm × 长930mm，紧凑的设计便于在无尘室中安装。
●
电气与冷却系统：采用3相 AC200～220V（或380～480V）电源，电机输出功率为3.7kW。设备需配备冷却水系统，供水温度要求在10~25℃，流量为4~8 L/min，以确保在长时间高负荷运行下的热稳定性。
二、 产品优势与应用场景
●
无油清洁与防腐蚀：作为干式真空泵，SDE1220在泵腔内无需使用润滑油，从根本上杜绝了油蒸汽对工艺腔室的污染。同时，泵体采用了先进的防腐材质与涂层技术，能够从容应对刻蚀、化学气相沉积（CVD）等工艺中产生的腐蚀性气体。
●
卓越的颗粒处理能力：其独特的螺杆转子设计能够有效将工艺过程中产生的微粒和副产物排出泵外，大幅降低了泵体卡死的风险，从而在恶劣的工艺条件下实现了极高的平均故障间隔时间（MTBF）。
●
低运行成本：得益于优化的节能结构和高效电机，SDE1220在提供强劲抽力的同时，显著降低了能耗，为客户提供了极低的综合运行成本（TCO）。
三、 运维与保养建议
SDE1220属于大型精密工业设备，其内部结构复杂，对维护的专业性要求极高。
●
定期保养：建议定期进行预防性维护，包括检查冷却水流量、氮气吹扫系统（需供给0.1~0.7MPa的氮气）以及泵体内部转子的磨损情况。
要这台的报价，或者要修这台？
