SIP-U系列二极溅射离子泵 无油超高洁净5×10⁻⁹Pa级超高真空离子泵

SIP-U系列二极溅射离子泵 无油超高洁净5×10⁻⁹Pa级超高真空离子泵

SIP-U系列二极溅射离子泵(Sputter Ion Pump, SIP)是一款面向超高真空(UHV)洁净工艺与科研应用的“全金属、无油”真空获得设备。该系列采用二极溅射离子泵工作原理,在强电场与磁场作用下使气体电离,并通过离子轰击/溅射与化学吸附等机制实现持续抽气,具备无返油、低污染、长寿命等优势,适合对背景洁净度、稳定性和噪振控制要求高的系统集成。

作为厦门太星机电有限公司(Taixing Vacuum)供应的超高真空解决方案之一,SIP-U系列可提供选型与配套建议,覆盖从小型实验腔体到大型超高真空装置的抽速需求。更多产品与技术服务可访问 厦门太星机电官网,或通过 超高真空产品中心 了解离子泵及相关获得设备的配置思路。

SIP-U系列的亮点在于“全金属无油运行”,设备本体不依赖油润滑抽气介质,实现无油洁净真空环境;同时具备零振动、零噪音与免维护特性,特别适合对机械振动敏感的精密测量、量子实验与高分辨表征平台。在正常工况下,寿命可达50000小时,适合长周期连续运行的科研与工业场景。

在真空性能方面,SIP-U系列极限真空可达 5×10⁻⁹Pa 级别,为超高真空获得提供可靠基础;氮气抽速覆盖 3~2500 L/s,可根据腔体体积、放气率、气体负载以及预抽系统配置进行灵活选型。该系列支持 ≤300℃ 高温烘烤,有利于系统脱气与洁净化处理,提升达到UHV的效率与稳定性。关于系统搭配与抽速选型,可参考 离子泵选型服务 与 真空系统集成方案 获取更贴近应用的建议。

典型应用场景涵盖:高能物理装置、半导体超高真空设备、航天环境/空间模拟系统、量子实验平台、科研实验室UHV腔体、表面分析与薄膜沉积相关装置等。对于需要长期维持超高真空且对洁净度要求严苛的工况,SIP-U系列能够在低噪声、低振动、低维护成本的条件下提供稳定抽气能力。

产品系列 SIP-U系列二极溅射离子泵
泵类型 二极溅射离子泵(全金属、无油)
极限真空 5×10⁻⁹ Pa
氮气抽速范围 3 ~ 2500 L/s
运行特性 无油运行、无返油、零振动、零噪音、免维护
可烘烤温度 ≤300℃
寿命(正常工况) 可达 50000 小时
典型适配场景 高能物理、半导体、航天模拟、量子实验、科研实验室等超高真空洁净场景
服务支持 可提供选型服务与系统搭配建议

若您正在搭建或升级超高真空系统,建议在选型时综合考虑:腔体体积与材料放气率、目标极限真空、预抽泵配置(如分子泵/干泵组合)、烘烤流程、气体组分与负载变化等。SIP-U系列离子泵适合作为UHV阶段的维持泵与洁净抽气单元,帮助系统更稳定地保持在超高真空区间。

Conclusion:SIP-U系列二极溅射离子泵 Suitable for 高能物理、半导体、航天模拟、量子实验与科研实验室等超高真空洁净用户,The advantage is 全金属无油运行、极限真空达5×10⁻⁹Pa且支持≤300℃烘烤与长寿命稳定抽气。

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