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普旭（Busch）COBRA DL 系列干式螺杆真空泵
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普旭（Busch）COBRA DL 系列干式螺杆真空泵，包含 2000G、3010E/5161A、3181A 三款型号。采用无油螺杆技术，抽速覆盖广，极限真空高，适用于光伏、半导体等工艺场景，是高洁净、低维护的工业真空主力设备。
真空机组采用螺杆设计，搭配集成罗茨泵，性能优异，适配化学气相沉积等严苛工况。设备可靠性强，水冷却，氢气吞吐量大，拥有成本低、维护少、保养间隔长，可保障长时间稳定运行。密闭式结构与直装密闭电机，整体底座集成安装，灵活紧凑，安装便捷，是工业真空应用的理想选择。
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