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德国 Busch 普旭原装COBRA DS 8161 F 干式螺杆真空泵
Busch COBRA DS 8161 F 干式螺杆真空泵(订单号:1361800483)
德国 Busch 普旭原装COBRA DS 8161 F 干式螺杆真空泵,专为半导体 / 精密制程打造。自平衡螺杆设计 + 水冷结构,极限真空低、抽速快,无油洁净,耐粉尘腐蚀。运行低噪稳定,维护周期长,适配 CVD/ALD 等严苛工艺。原装,现货可查,是高洁净工业真空的设备。
德国 Busch 普旭原装COBRA DS 8161 F,半导体级干式螺杆真空泵,集成前级泵 + 罗茨增压泵组合。极限真空 0.00075 Torr、抽速 3531 ACFM,适配 CVD、ALD、半导体工艺。自平衡螺杆、间接水冷、耐粉尘耐腐蚀。低噪 < 75dB、长维护周期、高稳定性。原装、订单可查、现货速发,精密制程。
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