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普发垂直升降波纹管组件(A 190–290 mm,B 410 mm)
普发垂直升降波纹管组件(A 190–290 mm,B 410 mm),专为高 / 超高真空环境打造。它以不锈钢为主体,集成大口径波纹柔性段与精密驱动导轨,可实现真空腔体的大行程稳定升降与位移补偿,密封可靠、运行稳定,是半导体制造、真空物理实验等高真空场景中腔体垂直定位与隔离的核心设备。
普发真空大行程垂直升降波纹管组件的工程尺寸图。它包含正视图与俯视图,标注了 A、B、C、D、E、F 等关键外形与安装尺寸,用于指导该真空升降机构的安装布局、空间适配与系统集成,适配半导体、科研等高真空场景的腔体垂直定位需求,是真空系统设计的核心技术图纸。
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