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普发真空大行程垂直升降波纹管组件(真空腔体升降机构)
普发真空大行程垂直升降波纹管组件(真空腔体升降机构)。它以不锈钢为主体材质,集成大口径波纹柔性段与精密驱动导轨,专为高 / 超高真空环境设计,可实现真空腔体的大行程稳定升降与位移补偿,密封可靠、运行稳定,是半导体制造、真空物理实验等高真空场景的核心设备。
普发真空大行程垂直升降波纹管组件的工程尺寸图。它包含正视图与俯视图,标注了 A、B、C、D、E、F 等关键安装与外形尺寸,用于指导该真空升降机构的布局、适配与集成,适配半导体制造、真空物理实验等高真空场景,是实现腔体垂直定位与隔离的核心技术图纸。
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