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普发真空(Pfeiffer Vacuum)COBRA DS 1800 A 干式螺杆真空泵
普发真空(Pfeiffer Vacuum)COBRA DS 1800 A 干式螺杆真空泵(也归属普旭 Busch COBRA 系列),为集成罗茨泵的组合式干泵,专为半导体、平板显示、太阳能等严苛工艺设计。它采用螺杆结构与钽涂层,耐粉尘、抗腐蚀,可处理高温气体与颗粒物,具备低运营成本、长寿命、少维护等优势,是高真空制程的核心设备。
普发真空(Pfeiffer Vacuum)COBRA DS 1800 A / DS 1200 A 系列干式真空泵的抽速 - 压力特性曲线。图中展示了两款型号在不同真空压力(p,单位 hPa)下的抽气速率(Ṽ,单位 m³/h):DS 1800 A/AX 峰值抽速约 1700 m³/h,DS 1200 A 峰值约 1200 m³/h,均在中真空区间(约 0.1~1 hPa)达到最大抽速,适用于半导体、镀膜等高真空工艺场景。
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