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普发真空(Pfeiffer Vacuum)COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵
普发真空(Pfeiffer Vacuum)COBRA DS 1000 G 干式螺杆真空泵,专为严苛制程设计的新一代高抽速真空设备。
它集成了真空增压器,抽气效率出众,可满足化学气相沉积、快速热处理等工艺需求。采用螺杆设计,运行稳定,耐粉尘与可凝气体,维护间隔长、运行成本低。间接水冷、高氢气通过量,紧凑一体化设计,是半导体、镀膜等领域的理想之选。
普发真空(Pfeiffer Vacuum)DS 系列真空泵(DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G)的抽气速率 - 压力性能曲线对比图。横坐标 “p” 代表压力(单位:hPa(mbar)),纵坐标 “Ṽ” 代表抽气速率(单位:m3/h),展示了不同型号真空泵在不同压力下的抽气速率变化情况。
普发真空(Pfeiffer Vacuum)DS 系列真空泵(DS 0700 G、DS 1000 G、DS 2000 G)的抽气速率 - 压力特性曲线对比图。图中横坐标 “p” 代表压力(单位:hPa(mbar)),纵坐标 “Ṽ” 代表抽气速率(单位:m 3 /h),展示了不同型号真空泵在不同压力下的抽气速率变化情况,可用于对比各型号性能差异。
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