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普发分子泵 HiPace80
普发分子泵 HiPace80
普发真空(Pfeiffer Vacuum)的 HiPace 系列涡轮分子泵及配套的控制单元(DCU)。涡轮分子泵用于获得高真空或超高真空环境, 常见于半导体制造、科学研究、表面分析等领域;控制单元(DCU)则用于对涡轮分子泵进行操作控制和状态监测。
普发 HiPace 80 是紧凑型高性能涡轮分子泵,专为中小流量超高真空场景设计,抽速稳定、抗粉尘能力强,支持灵活安装,集成驱动控制,运行安静低振、可靠性高、维护简便,广泛用于实验室分析、检漏、电子束设备与小型真空系统,是高精度真空应用的可靠选择。
普发 HiPace 80 涡轮分子泵 产品描述
德国普发 HiPace 80 是紧凑型高性能涡轮分子泵,氮气抽速达67L/s,极限真空优异,全气体高抽速与强压缩比。集成 TC110 驱动单元,IP54 防护、支持任意角度安装,机身小巧省空间,激光平衡技术带来低振动、低噪音与长寿命。免维护周期长、即插即用易集成,广泛适配质谱仪、检漏仪、电子显微镜、科研分析及小型超高真空系统,德国精工稳定耐用,是中小真空场景的。
技术数据
技术参数
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抽速(N₂):67 L/s
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极限真空:≤1×10⁻⁷ mbar
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额定转速:90,000 rpm
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驱动单元:集成 TC110 控制器
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进气接口:DN 63 ISO-K / CF
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排气接口:DN 16 ISO-KF
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冷却方式:风冷
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防护等级:IP54
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安装方向:任意角度安装
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工作噪声低、振动小,适配质谱、检漏、实验室真空系统
抽速曲线
普发真空(Pfeiffer Vacuum)HiPace 80 系列涡轮分子泵(分别搭配 TC 110,接口为 DN 63 ISO - K、DN 40 ISO - KF、DN 63 CF - F)的尺寸图。
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