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普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵
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普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵，是超高真空系统的核心设备之一，通过高速旋转的涡轮叶片输运气体分子来获得高真空环境，侧边的接口模块用于实现控制信号、供电等连接，广泛应用于半导体制造、科研实验等领域的真空系统中。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线，它展示了 N₂、He、Ar、H₂等不同气体在不同压强（单位：hPa）下的抽速（单位：l/s）变化规律，是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表，用于真空系统的选型与性能匹配。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该分子泵的接口规格（如 DN 100 CF-F 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口）、安装孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸参数，用于指导其在真空系统中的安装适配。
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