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普发真空(Pfeiffer Vacuum)ATP 1603M 涡轮分子泵
普发真空(Pfeiffer Vacuum)ATP 1603M 涡轮分子泵。
它属于涡轮分子泵品类,是实现超高真空环境的关键设备,广泛应用于半导体制造、科学研究等对真空度要求极高的领域。
纯涡轮分子泵搭载 5 轴磁轴承(无 Holweck 级),氦气吸气能力高达 2050 l/s,性能强劲。配备 DN250 ISO-F 连接法兰,采用集成驱动电子设备 OBC V4,运行稳定可靠。支持任意方向安装,远程控制 + 水冷设计且不加热,适配多样工况。通过 CE 标记与 RoHS 认证,无油清洁、低振动免维护,是科研、半导体等真空场景的核心设备。
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