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爱德华涡旋干泵 nXDS 15i
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爱德华涡旋干泵 nXDS 15i
概述
nXDS15i 是下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。 气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 还采用了端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。 具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 可完全进行现场维修。
nXDS-C 泵是改进型的 nXDS，适用于蒸汽处理制程，可用于某些涉及腐蚀性物质的泵送应用。nXDS-C 型具有 Chemraz® 内部阀和不锈钢接头，可提供额外的泵送介质防护。
真空泵样图及剖面图
特性与优势
真空外壳中不需要使用润滑剂，完全密封可保证的清洁和干燥真空，防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需程度的特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本
的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视
用于实现蒸汽泵送的气镇功能（nXDS-C 泵）
技术数据
性能
尺寸
用途
爱德华涡旋干泵 nXDS 15i 适配半导体制程（晶圆处理、薄膜沉积）、科研实验（材料表征、真空分析）、分析仪器（质谱、电镜配套）等场景，无油清洁特性契合高洁净要求工艺，助力提升流程洁净度与真空作业效率，是精真空场景的可靠配套设备。
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