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普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵
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普发真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列涡轮分子泵，它是一款用于获得超高真空环境的核心设备，通过高速旋转的涡轮叶片输运气体分子，广泛适配半导体制造、科研实验等场景的真空系统。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的抽速特性曲线，它展示了 N₂、He、Ar、H₂等气体在不同压强（单位：hPa）下的抽速（单位：l/s）变化规律，是评估该系列分子泵抽气性能的核心图表，用于真空系统的选型与性能匹配。
普发 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图纸，标注了该分子泵的接口规格（如 DN 100 ISO-K 进气口、DN 16 ISO-KF 排气口）、安装孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸参数，用于指导其在真空系统中的安装适配。
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