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爱德华涡旋干泵 nXDS 6i
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爱德华涡旋干泵 nXDS 6i
爱德华涡旋干泵 nXDS 6i 核心特性与优势
洁净无油设计：真空腔体内无润滑剂，避免工艺交叉污染，适配半导体、实验室等洁净需求场景。
节能表现：抽速达 6.2m³/h，极限真空低至 0.020mbar，集成变频驱动与待机模式，功耗仅 260W，能耗比同级更优。
低噪稳定运行：运行噪音仅 52dB (A)，安静不扰环境，端部密封技术升级，维护间隔长达 5 年，停机成本低。
多功能适配：自带气镇阀可处理水、溶剂等可凝性蒸汽，支持 USB、RS232/RS485 远程控制，现场维修仅需 10 分钟即可完成。
紧凑易安装：体积小巧节省空间，KF25 法兰接口适配多种设备，覆盖科研、工业、分析检测等多场景。
爱德华涡旋干泵 nXDS 6i 核心用途
科研实验场景：适配电子扫描显微镜（SEM）、质谱仪等分析仪器，支持射束线 / 高能物理实验、实验室工作台真空、冷冻干燥、脱气硫化等科研需求。
工业生产领域：覆盖半导体、光伏、锂电池制造，可用于镀膜、蒸馏萃取、熔炉真空维持、凝胶干燥等工艺，兼容水、溶剂等可凝性蒸汽处理。
专项真空应用：作为涡轮分子泵的前级泵，满足真空腔体抽排、稀有气体回收再循环需求，也适用于氦质谱检漏、超高速离心机配套。
洁净特殊场景：无油设计适配洁净室、分析实验室等要求场景，化学 resistant 版本可应对稀酸、碱等腐蚀性介质工况。
性能
尺寸
爱德华涡旋干泵 nXDS 6i 核心用途
科研实验场景：适配电子扫描显微镜（SEM）、质谱仪等分析仪器，支持射束线 / 高能物理实验、实验室工作台真空、冷冻干燥、脱气硫化等科研需求。
工业生产领域：覆盖半导体、光伏、锂电池制造，可用于镀膜、蒸馏萃取、熔炉真空维持、凝胶干燥等工艺，兼容水、溶剂等可凝性蒸汽处理。
专项真空应用：作为涡轮分子泵的前级泵，满足真空腔体抽排、稀有气体回收再循环需求，也适用于氦质谱检漏、超高速离心机配套。
洁净特殊场景：无油设计适配洁净室、分析实验室等要求场景，化学 resistant 版本可应对稀酸、碱等腐蚀性介质工况。
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