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普发真空 Split Flow 系列涡轮分子泵
普发真空 Split Flow 系列涡轮分子泵,它是一款集成分流功能的高真空泵,兼具涡轮分子泵的高抽速与分流设计,可实现不同气体的选择性抽排,适配半导体、科研等对真空环境有精细控制需求的场景,是复杂真空系统的核心设备之一。
真空计多气体灵敏度特性曲线,展示了 N₂、He、H₂、Ar 四种气体在不同压强(p,单位 hPa)下的灵敏度(S)变化规律,用于指导真空计在多气体环境下的测量校准,是真空系统气体检测的关键参考曲线。
普发真空 HiPace 系列涡轮分子泵的安装尺寸图,展示了该泵的接口规格(如 DN 63 ISO-K 真空法兰、G 1/4" 辅助接口)、安装孔位(M5 螺栓)及关键尺寸参数,用于指导该分子泵在真空系统中的安装与管路适配,是设备集成的技术参考图纸。
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