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普发涡旋干泵 HiScroll 12
普发涡旋干泵 HiScroll 12
普发 HiScroll 系列干式涡旋泵,由德国普发真空(Pfeiffer Vacuum)公司研发生产。它属于无油干式真空泵,采用涡旋泵技术,具有低噪音、无油污染、智能化控制等特点,常用于半导体、分析仪器、科研等对真空环境洁净度要求较高的领域,可作为涡轮分子泵的前级泵,为高真空系统提供基础真空条件。
洁净无污,适配敏感场景:采用完全无油干式运行设计,不会产生碳氢化合物污染,搭配气密式密封系统,能保障真空环境洁净。且内置两级气镇装置,可抽取水、溶剂等可凝性蒸汽,适配半导体、质谱分析等对污染零容忍的工艺。
低噪低振,适配安静环境:运行噪音仅 47dB (A),振动幅度极小,再加上紧凑的机身设计,不会对周边环境造成干扰,特别适合实验室、研发机构等对工作环境安静度要求高的场所。
节能,运维成本低:搭载专利 IPM 同步电机,驱动效率比传统电机高出 15%,产热更少,冷却需求也随之降低。经超 15500 小时耐力测试,配件损耗小,维护间隔长且耗时短,能显著降低长期运营成本。
智能互联,适配工业 4.0:支持 RS - 485 或 ProfiNet 接口,可轻松与普发涡轮分子泵等设备互联协同。可选装压力传感器,实现转速自动调节和性能监控,待机模式还能将转速降至全速的 50%,延长部件使用寿命。
安全可靠,运行有保障:内置止回阀与安全阀,停机时可防止气体回流,避免污染真空腔体和工艺环节。同时具备 ATEX 认证,能安全处理氢气等易燃气体,适配多种复杂工况下的安全运行需求。
抽气性能
抽速达 12.1m³/h;气镇 1 级流量 18L/min,气镇 2 级流量 30L/min。
无气镇时极限真空度可达 6×10⁻³hPa,气镇 1 级极限真空度 5×10⁻²hPa,气镇 2 级为 4×10⁻¹hPa;整体漏率 5×10⁻⁷Pa・m³/s。
最大进气压力 1100hPa,最大排气压力 1500hPa。
电气规格
适配电压 100 - 127V/200 - 240V 交流(允许 ±10% 波动),适配 50/60Hz 频率。
额定电流在 100 - 127V 时为 8A,200 - 240V 时为 4A,最大电流 8A;功耗范围 210 - 280W,搭载 IPM 同步电机。
配备 RS - 485 接口,支持远程控制与设备互联。
物理与运行特性
机身尺寸 419×265×304mm,重量 24kg;进出口均采用 DN25 ISO - KF 连接法兰。
额定转速 1560rpm,转速调节范围 624 - 1870rpm;运行噪音仅 47dB (A),防护等级 IP40。
采用强制对流风冷方式,适配 5 - 40℃的工作环境,最大运行海拔 2500m。
认证与其他
拥有 ATEX、SEMI S2/S8、cTUVus 等多项认证,适配多种严苛工况;内置两级气镇装置与止回阀,保障运行安全。
Hiscrol 12 外形尺寸和性能曲线
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