真空维修
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普发涡旋干泵 HiScroll 18
2025-11-25
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普发 HiScroll 系列干式涡旋泵，由德国普发真空（Pfeiffer Vacuum）公司研发生产。它属于无油干式真空泵，采用涡旋泵技术，具有低噪音、无油污染、智能化控制等特点，常用于半导体、分析仪器、科研等对真空环境洁净度要求较高的领域，可作为涡轮分子泵的前级泵，为高真空系统提供基础真空条件。
普发涡旋干泵 HiScroll 18
无油洁净，适配高要求场景：采用全干式无油结构，碳氢化合物污染，还符合 SEMI S2、SEMI S8 标准，适配半导体等对洁净度要求严苛的场景，其整体泄漏率低至 5×10⁻⁷ Pa・m³/s，真空环境稳定可靠。
低噪低振，运行体验佳：运行噪音按标准测试≤47 dB (A)，且振动极小，再加上紧凑的机身设计，即便在实验室等对环境噪音和振动敏感的场所使用，也能保持良好环境状态。
节能，运维成本低：驱动系统效率提升 15%，发热少且冷却需求低，能耗更优；同时具备超长维护间隔，搭配短维护耗时的设计，大幅降低了长期运行与维护成本。
适配性强，操控便捷：支持 100 - 240V 多电压标准，适配不同地区用电环境；配备 RS - 485 接口，可与涡轮分子泵等智能设备联动，契合工业 4.0 需求；还可选装自动或手动气镇功能，应对不同气体处理需求。
性能稳定，工况适配广：抽速达 18.1m³/h，极限真空可达 6×10⁻³ mbar，能快速建立稳定真空环境；进气压力适应范围广，且带有内部电机保护功能，可在 5 - 40℃环境、最高 2500 米海拔等多种工况下稳定运行。
普发 HiScroll 18 涡旋干泵的技术参数可从真空性能、物理与电气、运行环境等核心维度分类，具体参数如下
真空性能
生物与电气规格
运行相关叁数
Hiscrol 18外形尺寸和性能曲线
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