案例展示
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安捷伦复合离子泵 CombiNEG
安捷伦复合离子泵 CombiNEG
安捷伦 CombiNEG 复合离子泵特性:
抽气性能:对氢气抽速达 400L/s,兼顾氩气、氦气等惰性气体,极限真空<1×10⁻¹¹mbar,满足超高 / 极高真空需求。
结构设计:无活动部件,运行无振动;低磁场、低漏电流,减少系统干扰。
适配性:紧凑结构,支持多规格法兰与馈通件,适配半导体、材料科研等多场景。
寿命与维护:寿命长达 8 万小时,免维护设计,使用省心。
规格及型号说明
泵的外形图
对氮气的抽速曲线
吸气剂泵芯组件
主泵组件剖视图
安捷伦 VacIon Plus 系列离子泵
CombINiEG 泵的外形图
CombINiEG 泵的核心组件
CapaciTorr D 1000 吸附抽速曲线。
它展示了 CapaciTorr D 1000 型号的真空组件在不同吸附量(Sorbed Quantity,单位 Torr・L)下,对氢气(H₂)、氮气(N₂)、一氧化碳(CO)的抽速(Pumping Speed,单位 L/s)表现,测试遵循 ASTM F798-97 标准,还标注了吸附温度、激活条件、吸附压力等关键参数,是该型号组件真空性能的核心技术图谱。
Ion CombiNEG 150-1000 和 150-2000 泵(StarCell 版本)的主泵组件剖视图,其中分别安装了 D 1000 和 D 2000 吸气剂泵。
它属于真空设备领域的复合型离子泵结构展示图,通过剖视图清晰呈现了内部的离子泵单元(紫域,即 StarCell 技术的离子泵结构)和 D 1000/D 2000 吸气剂泵(绿色区域)的装配关系,用于直观展示该系列泵的核心组件布局与集成设计。
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2025-11-22
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