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安捷伦离子泵 VacIon Plus 75
2025-11-10
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安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode VaclonPlus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode VaclonPlus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中，因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的专利设计使其成为能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10 -8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
一、特性
单元室采用优化设计，可最大限度提高排放强度和抽速
离子泵在真空状态下运输
具有宽广的抽速范围（从 0.2 l/s 至 1000 l/s）
可提供多种泵体配置
联锁的真空密封穿导件连接方便，并可避免腐蚀和最大限度缩小泵的总体尺寸
三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物
专用陶瓷绝缘子可延长泵的寿命
提供扫描电子显微镜 (SEM) 型
二、资料下载
三、部件号及说明
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