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普发真空（Pfeiffer Vacuum）品牌的 A200L 多级罗茨真空泵
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普发真空（Pfeiffer Vacuum）品牌的 A200L 多级罗茨真空泵。多级罗茨真空泵常用于需要快速抽气和达到较高真空度的场合， 比如在真空镀膜、半导体制造、化工制药等工业领域，以及科研实验中的真空系统，可有效抽取气体，营造满足工艺要求的真空环境。
普发真空 A200L 是专为洁净制程打造的高性能多级罗茨真空泵，额定抽速达 200 m³/h，能快速建立稳定真空环境，极限压力可低至 10⁻⁴ hPa，满足高气流量应用需求。
采用无接触式转子设计，压缩腔体无需润滑油，可生成无油无颗粒的洁净真空，适配半导体制造、真空镀膜、光伏等对环境要求严苛的场景。结构紧凑且支持水平 / 垂直进气口连接，能无缝集成至现有系统，大幅降低安装调试成本。
运行时噪音与振动极低，平均故障间隔超 195000 小时，兼具低能耗与高可靠性，是 Load lock 腔、传送室等场景的理想选择。, 50/60 Hz
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